Part.1
超高精度材料沉积装置
XTPL Delta Printing System 是面向微电子研发、快速原型制造和小批量验证的开放式增材制造平台。其核心 UPD 技术利用精密运动平台、微型喷嘴与受控材料输运系统，将极少量高性能功能材料直接沉积到玻璃、硅片、柔性薄膜、PCB 等基底表面，无需传统光刻掩膜。该系统能够在微米尺度形成高宽比导电线路，并支持跨芯片边缘、台阶和三维结构打印，适用于传统喷墨或丝网印刷难以实现的高分辨率局部沉积与互连。
性能指标
•核心技术：XTPL Ultra-Precise Dispensing（UPD）超高精度材料沉积技术，支持无掩膜直接图形化。
• 特征尺寸：可实现 1 μm 量级高密度互连；典型高分辨打印线宽约 1–10 μm。
• 定位能力：资产登记 XY 重复定位精度 1 μm，Z 轴重复定位精度 0.5 μm。
•打印平台：四轴可倾斜打印平台，可适配平面、台阶、芯片边缘及复杂三维拓扑结构。
• 控制方式：支持手动操作、CAD 文件导入和高级脚本控制，喷头、墨盒与喷嘴可快速更换。
• 典型结构能力：RDL 可实现约 1 μm/1 μm L/S，高密度芯片互连可低于 10 μm/10 μm L/S。
Part.2
静电计
Keithley 6514 是面向材料、半导体和传感器低电平电学测试的高灵敏度静电计。与普通数字万用表相比，其输入级采用极低偏置电流和超高输入阻抗设计，可显著减小仪器本身对被测对象的负载效应。在电流模式下，微弱电流经低噪声跨阻放大后转换为可测电压；在电压和电荷模式下，则通过高输入阻抗与积分测量获得低电平信号，适合 pA、fA 级电流以及高阻材料的准确表征。
性能指标
• 仪器类型：可编程静电计，针对超低电流、高电阻、电荷和微弱电压测量优化。
• 电流测量范围：约 100 aA～20 mA；典型噪声低于 1 fA。
• 电压测量范围：约 10 μV～200 V；电压输入阻抗大于 200 TΩ。
• 电阻测量范围：约 10 mΩ～200 GΩ。
• 电荷测量范围：约 10 fC～20 μC。
• 输入偏置电流：校准温度条件下小于 4 fA。
• 数据采集：内部缓冲最高约 1200 readings/s，可存储约 2500 个读数。
Part.3
高压极化仪
SPD20KVCP 高压极化仪用于压电、铁电及介电材料的高压极化。电晕极化时，高压电极使空气发生电离并产生带电粒子，带电粒子在电场驱动下沉积于材料表面，从而在样品内部建立较强电场。对于具有电偶极矩或铁电畴结构的材料，适当升温可以提高畴壁或分子链段的可动性，使其在外加电场下重新取向；随后在保持电场的条件下降温，可将部分取向状态固定，从而获得或增强宏观压电和铁电性能。
性能指标
• 极化路数：单路。
• 极化电压：DC 0～20 kV 连续可调。
• 击穿保护电流：1 mA。
• 极化温度：室温（RT）～200 ℃。
• 控温精度：±2 ℃。
• 极化方式：电晕极化。
• 主要功能：在高电场和可控温度条件下对压电、铁电及介电材料进行极化处理。
Part.4
交流恒流电源
ATC70005 是用于低电压、大电流实验场景的交流恒流恒压电源。设备通过功率变换与闭环反馈控制，对输出电流或电压进行实时调节，使负载条件变化时仍能维持设定输出。其 0～1000 A 的大电流能力可用于模拟输电线路、母排或线圈中的交流电流环境，并产生相应的交变磁场，为电流传感器、磁场传感器及电磁感应器件的性能测试与标定提供可控激励条件。
性能指标
• 设备铭牌名称：交流恒流恒压电源。
• 产品型号/编号：ATC70005 / 03981。
• 输入电源：单相 220 Vac，50 Hz。
• 输出电压：0～5 Vac。
• 输出电流：0～1000 Aac。
• 输出容量：5 kVA。
• 功能定位：低电压、大电流交流输出，可用于恒流/恒压实验条件构建。
Part.5
超声波脉冲发射接收仪
CTS-8077PR 是用于超声换能器和材料声学测试的宽带脉冲发生/接收仪。发射部分通过高速高压开关产生幅值与脉宽可调的方波脉冲，对压电换能器进行瞬态激励；换能器将电信号转换为超声波并向介质传播。回波返回后再次转换为微弱电信号，由仪器内部宽带低噪声接收放大器进行放大、衰减和滤波，再输出至示波器或高速采集系统。通过时域和频域分析可获得换能器中心频率、带宽、灵敏度以及材料声学信息。
性能指标
• 发射脉冲：宽带负方波，幅度约 −25～−400 V，25 V 步进。
• 脉冲宽度：25～6500 ns，最小步进 5 ns。
• 重复频率PRF：100、200、500、1000、2000、5000 Hz。
• 适用换能器频率：约 80 kHz～20 MHz。
• 接收带宽：宽频带接收，最高约 30 MHz。
• 接收增益/衰减：RF 增益 60 dB（1 dB 步进）；RF 衰减 50 dB（1 dB 步进）。
• 滤波：低通 10/30 MHz、高通 1 kHz/1 MHz 可选。
• 接口与触发：USB 控制，支持外部 TTL 触发和同步输出，适合与示波器/采集卡联用。
Part.6
精密 LCR 数字电桥
TH2840B 是高性能精密 LCR 数字电桥，通过向被测器件施加已知频率和幅值的交流信号，同时测量器件端电压和电流的幅值与相位关系，从而计算复阻抗 Z=R+jX，并进一步获得电容、电感、电阻、品质因数、损耗因数和相位角等参数。四端对测量结构可降低测试线和接触阻抗带来的误差；配合频率、电平、偏置和图形扫描功能，可用于元器件和材料的频率响应及等效电学参数分析。
性能指标
•测试频率：20 Hz～2 MHz，频率准确度 0.01%。
• 基本测量精度：0.05%。
• AC 测试电压：5 mVrms～20 Vrms（>1 MHz 时最高 15 Vrms）。
• AC 测试电流：50 μArms～100 mArms。
•内置 DC Bias：0～±40 V、0～±100 mA；内置电流源最高 2 A。
• 测量参数：Cp/Cs、Lp/Ls、Rp/Rs、|Z|、|Y|、R、X、G、B、θ、D、Q、VAC、IAC 等。
• 测试端结构：四端对（Four Terminal Pair）；支持 OPEN、SHORT、LOAD 校准。
• 测试方式：点测、列表扫描、图形扫描；支持最高 201 点多参数扫描和 1～255 次平均。