加工设备
喷墨打印系统(Microfab Jetlab4 inkjet printing system):用于微传感器、微结构的加工,包括金属结构构建、纳米材料修饰、生物分子固定等。定位精度±5μm,喷嘴直径10-120μm,喷印频率1-20kHz。
激光雕刻机(Universal VLS2.30 laser systems):利用激光对需要雕刻的材料进行雕刻的一种先进设备。该设备是紧凑型和高性价比平台。其提供了406 x 305 x 102 mm或12,585 cm3的材料加工空间,可配备一台功率范围从10到30W的10.6µ CO2激光源或一台30W的9.3µ CO2激光源。该设备具有智能材料数据库自动计算数百种材料上激光加工的优化设置。
3D打印机(Miicraft+ 3D printer):台湾Real-Maker公司的桌面式MiiCraft+ 3D激光打印机。利用液态光敏聚合物在光照下固化的特征来固化液态聚合物,逐层对液态聚合物进行固化,如此循环往复,直到最终模型完成。Miicraft+ 作为一款桌面式3D激光打印机,集成了3D模型处理、基于DLP的模型打印和器件紫外固化等功能。最大打印尺寸:43×27×180mm,XY分辨率:56μm。打印速度:3cm/h(@100μm/Z轴);2cm/h(@50μm/Z轴);1cm/h(@30μm/Z轴)。
紫外固化机(BlackHole lab UV-KUB 2, exposure and masking system):UV光固化机广泛应用于紫外线(UV)涂料、紫外线(UV)胶水、紫外线UV油墨、紫外线UV光油的固化。具有波长为365 nm或385 nm的可用光源。 这是一个非常紧凑的台式系统,能够暴露直径最大为4英寸的晶圆表面。
真空浓缩仪(Vacuum concentrator):真空离心浓缩仪是综合利用离心力、加热和外接真空泵提供的真空作用来进行溶剂蒸发,可同时处理多个样品而不会导致交叉污染。工作原理:冷阱能有效捕捉大部分对真空泵有损害的溶剂蒸气,对高真空油泵提供有效的保护。真空泵使系统处于真空状态,降低溶剂的沸点,加快溶剂的蒸发速率。
PCR仪(Bio-gener Thermal Cycler):96孔板型温度循环仪,用于为DNA分子的PCR扩增反应提供温度循环条件。温度精度为±0.1℃,升降温速率为5℃/s.
等离子体表面处理系统(Oxygen Plasma Cleaner):等离子清洗机是一个大容量的生产设备,具有多用途的机械系统,它广泛应用于活化,退镀,改性,蚀刻,提升附着力和清洗等等功能。该设备也是最环保,最节能,有效性好的理想设备。
主要功能:
蚀刻:对于光致抗蚀剂聚酰亚胶的残留和以硅化物为基本成分的涂层等材料的清除很有用粘附提升:往基质上添加活化能力强的化学基团以提高其粘合剂的黏着度。
清洗:清除材料上的光学物质的污染以及清除有机物残留,氧化和金属盐等对材料的污染。
活化:能使处理基材表面生成所需化学极键;退镀:使被处理基材除去金属等材料,制作各种产品。